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　　多種技術(shù)的融合與滲透

　　力敏感元件和傳感器與IC技術(shù)、MEMS技術(shù)、CPU計(jì)算機(jī)技術(shù)、通信技術(shù)相互融合、滲透，以實(shí)現(xiàn)力敏感元件與傳感器的多功能化、集成化、智能化、微型化、無線傳感器網(wǎng)絡(luò)化。

　　● 將多個(gè)功能相同、相近或不同的敏感元件集成在一維或二維傳感器，即在同一芯片上，集成不同敏感元件，以檢測不同性質(zhì)的參數(shù)，實(shí)現(xiàn)敏感元件的多功能化。如在同一硅片上，可制備測壓元件、測差壓元件、測溫元件，以實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力、差壓、溫度3個(gè)參數(shù)的測量。

　　● 將敏感元件與調(diào)理電路、補(bǔ)償電路集成在同一芯片上，使傳感器由單一信號(hào)轉(zhuǎn)換功能擴(kuò)展到兼有檢測、放大、運(yùn)算、補(bǔ)償功能，從而實(shí)現(xiàn)敏感元件及傳感器的集成化。傳感器的集成化對(duì)傳感器的小型化、降低功耗、提高可靠性大有裨益。

　　● 將敏感元件與信息處理電路、控制電路集成在同一芯體上，或用封裝技術(shù)封在同一單元（管殼）內(nèi)，由于微處理機(jī)的引入，使傳感器不僅具有聽、視、嗅、味、觸覺等功能，而且還具有記憶、存儲(chǔ)、思維、判斷、自診等人工智能，即所謂傳感器的智能化。

　　● 從傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)向以微機(jī)械加工為基礎(chǔ)，仿真程序?yàn)楣ぞ叩奈⒔Y(jié)構(gòu)技術(shù)方向發(fā)展，以實(shí)現(xiàn)傳感器的微型化。傳感器的微型化是指敏感元件的特征尺寸為“毫米→微米→納米”的這類傳感器，這類傳感器具有尺寸上的微型化和性能上的優(yōu)越性，要素上的集成化和用途上的多樣性，功能上的系統(tǒng)化和結(jié)構(gòu)上的復(fù)合性。因此傳感器的微型化決不僅僅是尺寸上的縮微與減小，而是一種有新機(jī)理、新結(jié)構(gòu)、新作用和新功能的高科技微型系統(tǒng)。傳感器的微型化主要得益于半導(dǎo)體刻蝕加工技術(shù)、大規(guī)模集成電路制造技術(shù)、精密超細(xì)加工技術(shù)和LIGA技術(shù)。具有代表性的微型器件有：微壓力傳感器、微加速度計(jì)、微陀螺、微流量傳感器等。

　　● 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)技術(shù)（WSN），這也是力敏傳感器發(fā)展的主要趨勢(shì)之一。這是一種全新的信息獲取和處理技術(shù)，無線傳感器網(wǎng)絡(luò)由隨機(jī)分布的集成傳感器、數(shù)據(jù)處理單元和通信模塊的微小節(jié)點(diǎn)通過自組織的方式構(gòu)成，它借助于節(jié)點(diǎn)中內(nèi)置的形式多樣的傳感器，協(xié)作地實(shí)時(shí)監(jiān)測、感知和采集各種環(huán)境或監(jiān)測對(duì)象信息，對(duì)其進(jìn)行處理和發(fā)送，實(shí)現(xiàn)物理世界、計(jì)算機(jī)世界和人類社會(huì)的有效連通。無線傳感器網(wǎng)絡(luò)因其抗干擾性強(qiáng)、監(jiān)測精度高、覆蓋區(qū)域大等特點(diǎn)，在軍事應(yīng)用、智能家庭、網(wǎng)絡(luò)等多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域均有廣泛的應(yīng)用前景。無線傳感器網(wǎng)絡(luò)是本世紀(jì)人類面臨的一個(gè)發(fā)展機(jī)遇，它將改變?nèi)藗兊纳睿踔翆⒁鹨粓鰟潟r(shí)代的軍事技術(shù)革命和未來戰(zhàn)爭的變革，因此受到各國高度重視。