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前一篇?jiǎng)⒔淌跒槲覀兘榻B了直壓法泄漏測(cè)量以及它的優(yōu)缺點(diǎn)，由于有些被測(cè)部件（UUT）不能承受過高的壓力，還有一些部件對(duì)泄漏量要求更加嚴(yán)格，直壓法已經(jīng)不能滿足工藝要求，于是差壓法泄漏測(cè)量應(yīng)運(yùn)而生。

差壓法泄漏測(cè)量需要增壓一個(gè)參考腔(Ref)，參考腔的結(jié)構(gòu)應(yīng)該盡可能與被測(cè)部件(UUT)保持一致，外部設(shè)備為測(cè)量制造一個(gè)滿足測(cè)量條件的正壓或負(fù)壓，當(dāng)達(dá)到工藝設(shè)定的壓力時(shí)斷開壓力源，待內(nèi)部壓力穩(wěn)定后將Ref和UUT斷開，一個(gè)高精度的差壓傳感器用來比較Ref和UUT內(nèi)部的壓力的跌落/上升隨時(shí)間的變化ΔP/Δt，由于Ref預(yù)先已經(jīng)過驗(yàn)證，可以認(rèn)為系統(tǒng)壓力的跌落/上升來自UUT。

系統(tǒng)可用氮?dú)饣蛲ㄟ^油水分離器凈化的空氣作為氣壓源，通過可調(diào)節(jié)閥門向系統(tǒng)充氣，也可以通過真空發(fā)生器為系統(tǒng)制造一個(gè)負(fù)壓環(huán)境。測(cè)量環(huán)境壓力可采用精度略低的表壓傳感器或真空傳感器監(jiān)視，例如Setra Model 209/206（如下圖所示）。

Model 209

Model 206

差壓法泄漏測(cè)量通常是針對(duì)非常小的泄漏量設(shè)計(jì)的，因此對(duì)差壓測(cè)量泄漏使用的傳感器要求精度高、量程小但靜壓能力高，穩(wěn)定性和重復(fù)性好。Setra干式電容技術(shù)制造的高精度壓力傳感器ASL（如下圖所示）是這個(gè)應(yīng)用的優(yōu)選。

ASL高精度壓力傳感器

差壓法泄漏測(cè)量系統(tǒng)增加了與被測(cè)部件等同的被測(cè)腔體，使得兩側(cè)的溫度影響得到抵消，整個(gè)測(cè)量過程溫度影響大大減小。同時(shí)因?yàn)闇y(cè)量是兩個(gè)腔體壓力的比較，在使用高精度差壓傳感器的情況下測(cè)量精度非常高，可以在比被測(cè)部件承壓略高的條件下得到高精度的測(cè)量結(jié)果，大大擴(kuò)展了應(yīng)用范圍，逐漸被越來越多的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量工藝采用。

差壓法測(cè)量的另一個(gè)優(yōu)勢(shì)是負(fù)壓腔泄漏的測(cè)量。當(dāng)被測(cè)部件（UUT）工作時(shí)處于負(fù)壓狀態(tài)，要對(duì)它進(jìn)行負(fù)壓狀態(tài)下的泄漏測(cè)量，這時(shí)其它測(cè)量方法是無法完成的，差壓法泄漏測(cè)量變的不可替代。

未完待續(xù)，敬請(qǐng)期待！