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PT1907-背壓式壓力溫度傳感器 

NovaSensor PT1907是絕壓型硅壓阻傳感器芯片，設計用于在惡劣介質中進行壓力和溫度的組合測量，同時溫度也用于壓力傳感器的穩定補償校準。該傳感器使用過程中，由于從芯片的背面施加壓力，避免了傳感器電路頂側與所施加介質之間的直接接觸。這使PT1907能夠方便地直接接觸并測量腐蝕性液體和氣體中的壓力和溫度。

與一般的絕壓型硅阻壓力傳感器相比，該產品在壓力芯片模型的頂部用硅片通過硅硅鍵合的方式制成的真空參考腔用于絕對壓力測量，而壓力介質接觸的為傳感器的鈍面腔體。通過NovaSensorSenStable?工藝，PT1907還具有出色的長期穩定性和可重復性（典型值<0.1％/年）。集成的片上溫度傳感器可實現溫度的高精度測量并提高壓力測量的精度。 

應用領域 

• 汽車系統

• 過程控制系統

• 航天

• 腐蝕性介質中的壓力和溫度測量

產品特性 

• 氣液復雜的測量介質兼容性

• 從背面（型腔）加壓的高度可靠的固態硅壓力傳感器芯片

• 壓力范圍：60、120、180、300、450、600和1000 PSIA

• 溫度范圍：-40°C至150°C

• 片上溫度傳感器

• 模具尺寸（長x寬x高）：1.9毫米x 1.9毫米x 1.6毫米（帶玻璃），2.0毫米x 2.0毫米x 0.8毫米（不帶玻璃）

• 靈活的焊盤配置允許僅在芯片的一側或兩側進行引線鍵合

產品規格